按照國(guo)際慣(guan)例，無(wu)塵(chen)凈化級別(bie)主(zhu)要是根據每立方(fang)米空氣(qi)中粒子(zi)直徑大于(yu)劃分標(biao)準的粒子(zi)數量來(lai)規定(ding)。也就(jiu)是說所謂無(wu)塵(chen)并非(fei)100%沒有一點灰(hui)(hui)塵(chen)，而是控制在一個(ge)非(fei)常(chang)微(wei)量的單位上。當然(ran)這個(ge)標(biao)準中符合(he)灰(hui)(hui)塵(chen)標(biao)準的顆粒相對(dui)于(yu)我們常(chang)見的灰(hui)(hui)塵(chen)已經是小的微(wei)乎(hu)其微(wei)，但是對(dui)于(yu)光學(xue)構(gou)造而言，哪怕是一點點的灰(hui)(hui)塵(chen)都會產生非(fei)常(chang)大的負(fu)面(mian)影(ying)響(xiang)，所以(yi)在光學(xue)構(gou)造產品(pin)的生產上，無(wu)塵(chen)是必然(ran)的要求。

　　如(ru)表1所示，每(mei)立(li)方(fang)米(mi)將小于(yu)0.5微米(mi)粒徑的微塵(chen)數(shu)量控制在(zai)3500個以下，就(jiu)達(da)到了國際無塵(chen)標(biao)準(zhun)的A級。目前應用在(zai)芯片級生(sheng)產加工的無塵(chen)標(biao)準(zhun)對于(yu)灰塵(chen)的要(yao)求高于(yu)A級，這樣的高標(biao)主要(yao)被應用在(zai)一些等級較高芯片生(sheng)產上。微塵(chen)數(shu)量被嚴格(ge)控制在(zai)每(mei)立(li)方(fang)米(mi)1000個以內(nei)，這也(ye)就(jiu)是業內(nei)俗稱(cheng)的1K級別(bie)。