1.亂流式(Turbulent Flow)：

　　空(kong)氣由(you)空(kong)調箱經風管(guan)與潔凈(jing)室(shi)(shi)(shi)(shi)內之(zhi)空(kong)氣過(guo)濾器(HEPA)進(jin)入(ru)潔凈(jing)室(shi)(shi)(shi)(shi)，并由(you)潔凈(jing)室(shi)(shi)(shi)(shi)兩(liang)側隔(ge)間墻板或高架(jia)地板回風。氣流非直(zhi)線(xian)型運動而呈不規則之(zhi)亂流或渦流狀態。此型式(shi)適(shi)用(yong)于潔凈(jing)室(shi)(shi)(shi)(shi)等級1,000-100,000級。

　　優點：構造簡單、系統(tong)建造成本(ben)，潔凈室之擴充比較容(rong)易，在某(mou)些特殊(shu)用(yong)途場所(suo)，可并用(yong)無塵工(gong)作臺，提高(gao)潔凈室等級。

　　缺點：亂流造成的微(wei)塵粒子于室內(nei)空間飄浮不易排出，易污染(ran)制程產品。另(ling)外若系統停止(zhi)運轉再激(ji)活，欲達(da)需(xu)求之潔(jie)凈度，往往須(xu)耗時(shi)相當長一段時(shi)間。

　　2.層流式(Laminar)：

　　層流式(shi)空氣氣流運(yun)動成一均(jun)勻(yun)之直線形(xing)，空氣由覆蓋率100%之過濾(lv)器進入室(shi)內(nei)，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型(xing)式(shi)適(shi)用于潔(jie)凈(jing)室(shi)等級(ji)需定較高之環(huan)境使用，一般(ban)其潔(jie)凈(jing)室(shi)等級(ji)為Class 1~100。其型(xing)式(shi)可分為二種：

　　(1)水平(ping)層流式：水平(ping)式空氣自過濾器單(dan)方向吹(chui)出(chu)，由對邊墻壁之回(hui)風(feng)系統回(hui)風(feng)，塵埃隨風(feng)向排出(chu)室外，一般在(zai)下(xia)流側污染較嚴重。

　　優點(dian)：構造簡單(dan)，運轉后短時間內即可(ke)變成穩定。

　　缺點：建造費用比亂流式高，室(shi)內空間不易擴充。

　　(2)垂直層流式：房間(jian)天(tian)花板完(wan)全以ULPA過濾器覆(fu)蓋，空氣(qi)由上往(wang)下吹(chui)，可得(de)較高之潔凈度，在制程(cheng)中或(huo)工作人員所

　　產生的塵埃可(ke)快速排出室外而不會影響其它(ta)工作區(qu)域(yu)。

　　優(you)點：管理(li)容易，運轉開始短(duan)時間內即可達穩定狀(zhuang)態，不易為(wei)作(zuo)業狀(zhuang)態或作(zuo)業人(ren)員(yuan)所影響。

　　缺點：構造(zao)費用較高，彈(dan)性運用空間困難，天(tian)花板(ban)之(zhi)吊架(jia)相當占空間，維(wei)修(xiu)更換(huan)過濾器較麻(ma)煩。

　　3.復合(he)式(shi)(Mixed Type)：

　　復合(he)式(shi)為(wei)將亂(luan)流式(shi)及(ji)層流式(shi)予以復合(he)或并用，可(ke)提供局部超潔凈(jing)之(zhi)空(kong)氣。

　　(1)潔凈隧道(dao)(Clean Tunnel)：以(yi)(yi)(yi)HEPA或ULPA過濾器(qi)將(jiang)制(zhi)程區域(yu)(yu)或工(gong)作(zuo)(zuo)(zuo)區域(yu)(yu)100%覆蓋使(shi)潔凈度等級提高(gao)至(zhi)10級以(yi)(yi)(yi)上，可節省安裝運轉費用。此型式(shi)需將(jiang)作(zuo)(zuo)(zuo)業人(ren)員之工(gong)作(zuo)(zuo)(zuo)區與產品和機(ji)器(qi)維(wei)修予以(yi)(yi)(yi)隔離，以(yi)(yi)(yi)避(bi)免機(ji)器(qi)維(wei)修時影響了工(gong)作(zuo)(zuo)(zuo)及品質，ULSI制(zhi)程大都采用此種型式(shi)。

　　潔凈隧道另有(you)二項優點：A.彈性擴(kuo)充容(rong)易(yi); B.維修(xiu)設備時可在(zai)維修(xiu)區(qu)輕(qing)易(yi)執行。

　　(2)潔(jie)凈管道(Clean Tube)：將產品(pin)流程經過的自(zi)動生產線包圍并凈化處理，將潔(jie)凈度等級提至100級以上。因產品(pin)和作業員及(ji)(ji)發塵(chen)環境相(xiang)互隔離，少量之送風即可(ke)得到良好之潔(jie)凈度，可(ke)節(jie)省能源，不(bu)需(xu)人工(gong)的自(zi)動化生產線為 適宜(yi)使(shi)用(yong)。藥品(pin)、食(shi)品(pin)業界及(ji)(ji)半導體(ti)業界均適用(yong)。

　　(3)并裝局部潔凈(jing)室(shi)(Clean Spot)：將潔凈(jing)室(shi)等級10,000~100,000之亂流潔凈(jing)室(shi)內之產品制程(cheng)區的潔凈(jing)度等級提高為10~1000級以上，以為生(sheng)產之用;潔凈(jing)工作(zuo)臺、潔凈(jing)工作(zuo)棚(peng)、潔凈(jing)風柜即屬此類。

　　潔凈(jing)工作臺(tai)：等級Class 1~100級。

　　潔(jie)凈工作棚：為在亂(luan)流(liu)式之潔(jie)凈室空(kong)間內(nei)以防靜電之透(tou)明塑料布(bu)圍成一小空(kong)間，采用獨立之HEPA或ULPA及空(kong)調送風機組而成為一較高(gao)級之潔(jie)凈空(kong)間，其等級為10~1000級，高(gao)度在2.5米左右，覆蓋(gai)面積約10m2以下，四支支柱并(bing)加裝活(huo)動輪，可為彈性運(yun)用。