一.前言

　　潔凈(jing)室(shi)的(de)氣流速(su)度/換氣次數(shu)，一直是潔凈(jing)室(shi)設計中(zhong)受到關(guan)(guan)注的(de)問(wen)題(ti)，隨著潔凈(jing)室(shi)污染(ran)源的(de)控制效(xiao)果增加及末級(ji)過濾(lv)器效(xiao)率的(de)提高等(deng)，對有(you)關(guan)(guan)規(gui)范、導則等(deng)提出的(de)推(tui)薦(jian)或參(can)考值是否(fou)偏于保守，已有(you)不少討(tao)論;FFU在應用(yong)(yong)中(zhong)人們擔(dan)心(xin)的(de)噪音、損壞維修等(deng)問(wen)題(ti)已在實踐中(zhong)得到解決，隨著FFU的(de)不斷改進，對是否(fou)采(cai)用(yong)(yong)FFU回風系統也是個(ge)熱點：懸浮分(fen)子(zi)污染(ran)(AMC)的(de)控制在微電(dian)子(zi)及IC工業(ye)中(zhong)已日益提到日程上來，受到關(guan)(guan)注。以下對這(zhe)些問(wen)題(ti)的(de)情況分(fen)別(bie)作歸納(na)和(he)分(fen)析。

　　二(er).氣流(liu)速(su)度

　　2.1有(you)關(guan)推薦或參(can)考(kao)值的應用

　　潔凈(jing)室內一定(ding)潔凈(jing)度下氣(qi)流(liu)速度的確定(ding)，隨潔凈(jing)室用途等具(ju)體情況(kuang)而(er)異，它不僅受(shou)室內發塵量及過濾器效率還(huan)受(shou)其他因素影響，就工(gong)業(ye)潔凈(jing)室而(er)言，影響潔凈(jing)度及選擇(ze)氣(qi)流(liu)速度的因素主要是：

　　(1)室內污染源：建(jian)筑(zhu)物組件、人員數量及(ji)操作(zuo)活動、工(gong)(gong)藝(yi)設備、工(gong)(gong)藝(yi)材(cai)料及(ji)工(gong)(gong)藝(yi)加工(gong)(gong)本身等都是(shi)塵(chen)粒釋放源，根(gen)據具體情況而異，變化很大;

　　(2)室內氣流流型及(ji)(ji)分布(bu)：單(dan)向流要求均(jun)勻、平(ping)等(deng)的流線，但(dan)會受到工藝設備布(bu)置和位置變動及(ji)(ji)人員活動情況等(deng)的干擾形(xing)成局部渦流;而非單(dan)向流要求充混合，避(bi)免(mian)死角(jiao)及(ji)(ji)溫度分層;

　　(3)自凈(jing)(jing)(jing)時(shi)間(jian)(恢復時(shi)間(jian))的(de)(de)控制要求：潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)(jing)室中事(shi)故(gu)釋放或(huo)(huo)帶(dai)入污染(ran)物或(huo)(huo)空氣氣流的(de)(de)中斷或(huo)(huo)正(zheng)常操作(zuo)時(shi)的(de)(de)間(jian)歇性對(dui)流氣流或(huo)(huo)人及(ji)設備的(de)(de)移動等都會造成潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)(jing)度(du)的(de)(de)惡(e)化(hua)，恢復到原(yuan)來潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)(jing)度(du)的(de)(de)自凈(jing)(jing)(jing)時(shi)間(jian)決(jue)定于(yu)(yu)氣流速度(du);對(dui)自凈(jing)(jing)(jing)時(shi)間(jian)的(de)(de)控制要求取決(jue)于(yu)(yu)此時(shi)間(jian)框架(jia)內(惡(e)化(hua)的(de)(de)潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)(jing)度(du)下)，對(dui)產品生產的(de)(de)質(zhi)量(liang)及(ji)成品率影響(xiang)的(de)(de)承受(shou)能力(li);

　　(4)末級過濾器(qi)的(de)效(xiao)率(lv)：在一定的(de)室(shi)內發塵量下，可(ke)采(cai)(cai)用較(jiao)(jiao)高(gao)效(xiao)率(lv)的(de)過濾器(qi)以(yi)降低(di)氣流速度;為節能應考慮采(cai)(cai)用較(jiao)(jiao)高(gao)效(xiao)率(lv)的(de)過濾器(qi)，并降低(di)氣流速度，或(huo)采(cai)(cai)用較(jiao)(jiao)低(di)效(xiao)率(lv)的(de)過濾器(qi)并采(cai)(cai)用較(jiao)(jiao)高(gao)的(de)氣流速度，以(yi)求(qiu)流量與阻(zu)力的(de)乘積最小;

　　(5)經濟性考慮(lv)：過大的(de)氣流速(su)度(du)造成(cheng)投資及運行費(fei)用的(de)增加(jia)，合(he)(he)(he)適的(de)氣流速(su)度(du)為以上諸因(yin)素合(he)(he)(he)理的(de)綜合(he)(he)(he)，過大往往不必要，亦(yi)不一(yi)定有(you)效果;

　　(6)對潔凈度要求(qiu)低(di)的潔凈室(shi)，有時換氣次數決定于(yu)室(shi)內(nei)排熱的要求(qiu)。

　　以上(shang)因(yin)(yin)素(su)，皆很(hen)難量化，只(zhi)能分析(xi)對(dui)比并估(gu)(gu)計。因(yin)(yin)此(ci)在工程應用(yong)中，對(dui)潔凈(jing)室的(de)(de)氣流速度往往參(can)照有關規范、導則(ze)等的(de)(de)推(tui)薦(jian)或參(can)考值(zhi)，再按具(ju)體情況(kuang)估(gu)(gu)計以上(shang)各影響因(yin)(yin)素(su)進行綜合考慮(lv)后確(que)定。